Candela康多拉晶圆检测系统Candela® 8720用户手册.pdf

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Candela®8720

针对LED和通信市场的先进检测

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Candela®8720

针对LED和通信市场的先进检测

Candela®8720先进表面缺陷检测系统可以在LED、光电技术、通

信和其他化合物半导体市场中检测各种不同的关键性衬底和外延缺

陷。

采用统计制程控制(SPC)方法的自动晶圆检测可以显著减少由于

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