CN119067028B 基于机器学习的集成电路工艺参数优化方法及系统 （中科芯(苏州)微电子科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119067028B

(45)授权公告日2025.05.02

(21)申请号202411561587.3

(22)申请日2024.11.04

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119067028A

(43)申请公布日2024.12.03

(73)专利权人中科芯（苏州）微电子科技有限公司

地址215124江苏省苏州市中国（江苏）自

由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城1幢505、507

(72)发明人苌凤义

(74)专利代理机构常州市天龙专利事务所有限

公司3210