基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度与仿真优化研究.docx

基于Petri网的单臂组合装置晶圆重入加工过程的调度与仿真优化研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

1.1.1研究背景

半导体作为现代电子技术的基石，在当今社会的各个领域都发挥着至关重要的作用。从智能手机、智能家居到人工智能、大数据中心，从汽车电子、医疗设备到航空航天、国防军事，半导体无处不在，支撑着现代科技的飞速发展。半导体行业是保障国家安全、推动经济发展的战略性、基础性和先导性产业，其发展水平已成为衡量一个国家科技实力和综合国力的重要标志。

在半导体制造过程中，晶圆加工是最为关键的环节之一，其生产效率和质量直接决定了整个半导体制造的成本和性能。随着科技的不断进步，市场对半导体产品的需求