4-1激光干涉仪距离检测.pptxVIP

任务4-1激光干涉仪位置检测?演讲人

01【任务描述】

【任务描述】数控机床在加工零件时，数控系统发出脉冲指令，机床进给系统沿着坐标轴移动一定的距离，由于经过了一系列传动链，造成实际位移与数控指令信号指定的位移有所偏差。位移误差必然造成零件加工误差，进而影响零件的加工质量。因此在数控机床出厂之前，必须对数控加工的位移误差即数控机床位置精度进行检测，激光干涉仪是用于位置精度检测的精密仪器，可以用来检测定位误差、重复定位误差、原点复归精度等。本任务要求了解激光干涉仪的组成及其测距原理，能够正确安装使用激光干涉仪并合理采集误差数据，完成如图4-1加工中心的直线坐标轴位移检测。

02【任务目标】

【任务目标】1.了解激光干涉仪测距原理。012.能够正确安装激光干涉仪各组件。023.能够利用激光干涉仪检测加工中心坐标轴位移。03

03【知识链接】

光的干涉测距原理1、【干涉条纹】两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加从而形成新波形的现象。例如采用光学分束器将一束来自单色点光源的光分成两束后，再让它们在空间中的某个区域内重叠，将会发现在重叠区域内的光强并不是均匀分布的：其明暗程度随其在空间中位置的不同而变化，最亮的地方超过了原先两束光的光强之和，而最暗的地方光强有可能为零，这种光强的重新分布被称作“干涉条纹”，如图4-1-1所示。

【干涉技术测距机理】把两束相干光波形合并相干（或引起相互干涉