CN119394235A 一种膜厚测量校准片及制作和监测方法 (芯恩(青岛)集成电路有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-14 发布于山西
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CN119394235A 一种膜厚测量校准片及制作和监测方法 (芯恩(青岛)集成电路有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119394235A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202311132344.3

(22)申请日2023.09.04

(71)申请人芯恩(青岛)集成电路有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

路19号德国企业南区401

(72)发明人严耿昕王杰

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

专利代理师张磊

(51)Int.Cl.

G01B21/04(2006.01)

G01B21/08(2006.01)

H01L23/5

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