01太阳能电池工艺扩散Solarcellprocessdiffusion12课件讲解.pptxVIP

01-太阳能电池工艺-扩散Solarcellprocess-diffusion

DiffusionContent:DiffusionequipmentDiffusionprinciplerecipeDiffusioncontrolDiffusionprocessintroduction:/erweima/31166/38.htmlWaferloading/unloading:/erweima/31166/39.html/erweima/31166/39.htmlTextureprocessintroduction:/erweima/31166/7.htmlTextureloading:/erweima/31166/28.html

Waferload/unloadstationBoatload/unloadDiffusiontube(4tubes）GasCabinetDiffusionfurnacestructure1.Loading2.Waferinsert3.Waferunload4.Unloading5.Torchscreen

上下舟区DiffusionfurnacestructureDuffusionTube(4tubes)MetaldoorQuartzDoorsealringTubePaddle（SiC）T