CN120044371A 一种基于晶圆测试的探针套件多功能测试方法及系统 （深圳市弘测精密科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120044371A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510182573.9

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人深圳市弘测精密科技有限公司

地址518000广东省深圳市光明区凤凰街

道塘尾社区恒泰裕大厦1栋707

(72)发明人郑仁熹

(74)专利代理机构深圳市世纪宏博知识产权代

理事务所(普通合伙)44806

专利代理师董博

(51)Int.Cl.

G01R31/26(2020.01)

G01R31/28(2006.01)

G01R31/3181(2006.01)

G01R31/317(2006.01)