抗反射光栅的设计与仿真.docx

题目：抗反射光栅的设计与仿真

Title:DesignandSimulationofanti

reflectiongrating

摘要

制作抗反射光栅可用做波导端面,从而降低波导端面菲涅耳反射率,从而降低祸合损耗和回波损耗。可采用抗反光栅结构减少发光二极管的菲涅耳反射,增加外量子效率。另外还可广泛应用在光学元件表面处理、太阳能电池、探测器等上。本文利用Rsoft软件对亚波长抗反射光栅进行初步设计并进行仿真，同时分析各个参数以及材料对于光栅反射率的影响。通过仿真的结果发现：所制作的抗反射光栅在选取合适的参数时能够达到几乎为零的反射率，并且波长在0.2～0.3的时候能够达到98