合规红线与避坑实操手册(2026)《GBT 16879-1997掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》.pptxVIP

;目录;;行业生存法则：没有精密度与准确度的量化表示，光刻工艺如同“盲人摸象”;标准存续的底层逻辑：设备验收、工艺转移、质量仲裁的法定依据至今未变;;未来三年趋势预判：随着制程微缩，精密度指标的公差带将收窄至现有准则的极限;;标准原文溯源：精密度描述“散布”，准确度描述“偏差”——两个定义从未重叠;实操混淆重灾区：设备验收时用精密度数据“偷换”准确度概念，供应商的常见话术拆穿;精密度再细分：重复性条件与再现性条件——标准第3章中90%的人漏读的脚注;;;样本量陷阱：标准未强制规定测量次数，但审核员默认“n≥20”为行业底线;自由度死穴：计算标准差时忘记扣除测量系统本身的自由度