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CN119956342A 一种基于小分子缓蚀剂的铜表面膜层处理液及其制备方法和应用 （山东大学）.pdfVIP

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  • 2026-04-16 发布于重庆
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CN119956342A 一种基于小分子缓蚀剂的铜表面膜层处理液及其制备方法和应用 （山东大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119956342A

    (43)申请公布日2025.05.09

    (21)申请号202510178232.4

    (22)申请日2025.02.18

    (71)申请人山东大学

    地址250100山东省济南市历城区山大南

    路27号

    (72)发明人马厚义于敏高翔

    (74)专利代理机构济南圣达知识产权代理有限

    公司37221

    专利代理师王磊

    (51)Int.Cl.

    C23C22/02(2006.01)

    C23F11/167(2006.01)

    C23F11/12(2006.01)

    C23C22/78(2006.01)

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