CN119828428A 一种用于光刻对准的光栅标记及其对准方法 (合肥工业大学).pdfVIP

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  • 2026-04-16 发布于重庆
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CN119828428A 一种用于光刻对准的光栅标记及其对准方法 (合肥工业大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119828428A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510178520.X

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人合肥工业大学

地址230009

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