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CN119398466A 基于深度强化学习的半导体制造设备分组工作方法及系统 （北京珂阳科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-16 发布于山西
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CN119398466A 基于深度强化学习的半导体制造设备分组工作方法及系统 （北京珂阳科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119398466A

    (43)申请公布日2025.02.07

    (21)申请号202510007920.4

    (22)申请日2025.01.03

    (71)申请人北京珂阳科技有限公司

    地址100176北京市通州区经济技术开发

    区西环南路26号院30号楼（嘉捷科技园A座）6层-605

    (72)发明人张磊李树盛冯白羽

    (74)专利代理机构北京星通盈泰知识产权代理

    有限公司11952

    专利代理师黄正奇

    (51)Int.Cl.

    G06Q10/0631(2023.01)

    G06Q50/04(2

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