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真空检漏试题及详细答案

一、填空题（每空2分，共20分）

真空检漏的核心目的是__________，防止气体泄漏影响真空系统的运行稳定性和真空度。

常见的真空检漏方法中，__________适合粗检漏，操作简单、成本低，适合初步排查大泄漏点。

氦质谱检漏仪的核心部件是__________，其作用是检测泄漏的氦气并转化为电信号。

检漏时，真空系统的极限真空度应__________检漏方法要求的最低真空度，否则会影响检漏精度。

肥皂泡检漏法中，肥皂液的浓度要适中，过稀易__________，过浓则不易观察气泡产生。

泄漏率的常用单位是__________，1Pa·m3/s表示每秒通过泄漏孔的气体体积（在标准状态下）。

氦质谱检漏时，氦气作为示踪气体的优点是__________、化学性质稳定、不与系统材料发生反应。

真空系统检漏前，需先对系统进行__________和烘烤，去除系统内的水分、油污和残留气体。

对于微小泄漏，优先采用__________，其检漏精度可达10?12Pa·m3/s级别。

检漏过程中，若系统真空度突然下降，大概率是存在__________，需重点排查法兰、密封圈等连接部位。

二、选择题（每题3分，共30分，单选）

下列哪种检漏方法适合检测微小泄漏，且精度最高（）

A.肥皂泡检漏法B.氦质谱检漏法C.压力降检漏法D.