激光原理及应用（第4版）：激光在精密测量中的应用PPT教学课件.pptx

激光在精密测量中的应用激光原理及应用(第4版)第六章

01激光干涉测长

干涉测长的基本原理干涉条纹是接收面上两路光程差相同的点连成的轨迹。激光器发出的激光束到达半透半反射镜P后被分成两束，当两束光的光程相差激光半波长的偶数倍时，它们相互加强形成亮条纹；当两束光的光程相差半波长的奇数倍时，它们相互抵消形成暗条纹。激光干涉测长

除了迈克耳孙干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源、可移动平台、光电显微镜、光电计数器和显示记录装置。激光光源一般是采用单模的He-Ne气体激光器，输出的是波长为632.8nm的红光。因为氦氖激光器输出激光的频率和功率稳定性高，它以连续激励的方式运转，在可见光和红外光