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CN119411083A 膜沉积系统以及在膜沉积系统中控制粒子的方法 （台湾积体电路制造股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-20 发布于山西
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CN119411083A 膜沉积系统以及在膜沉积系统中控制粒子的方法 （台湾积体电路制造股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119411083A

    (43)申请公布日2025.02.11

    (21)申请号202411491141.8

    (22)申请日2019.08.13

    (30)优先权数据

    62/718,0502018.08.13US

    16/530,3922019.08.02US

    (62)分案原申请数据

    201910745121.12019.08.13

    (71)申请人台湾积体电路制造股份有限公司地址中国台湾新竹市

    (72)发明人郭宗翰汪柏澍王伟民

    (74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003

    专利代理师

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