CN119668054A 自动sraf曝光显像抑制方法、装置、介质、程序产品及终端 （华芯程(杭州)科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119668054A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202510188571.0

(22)申请日2025.02.20

(71)申请人华芯程（杭州）科技有限公司

地址311100浙江省杭州市余杭区良渚街

道网周路99号1幢22层2208室

(72)发明人吴志强张艾莎杨爽

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师倪静

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G06F30/20(2020.01)

权利要求书2页说明书9页附图7页