集成电路关键材料及设备行业发展基础分析.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.26万字
  • 约 21页
  • 2026-04-19 发布于河北
  • 举报

集成电路关键材料及设备行业发展基础分析.pdf

集成电路关键材料及设备行业发展基础分析

依托系统技术优势,做强晶圆针台、光刻机光学系统,加速极

紫外光刻技术攻关。突破高端光刻投影物镜、OCA光学胶、半导体贴片

胶、硅外延片及第三代化合物外延片等关键材料器件。

一、基本原则

充分发挥市场在资源配置中的决定性作用,突出应用需求的牵引

作用,激发企业活力和创造力,强化企业的主体地位。更好发挥作用,

加强规划引导、政策激励和组织协调作用,促进供需衔接,完善投融

资机制,优化发展环境。

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档