材料表征基础课件：扫描电子显微术.pptx

材料表征基础

扫描电子显微术

§1扫描电镜的工作原理和构造《材料表征基础》

内容提要0102SEM的工作原理03SEM的基本构造概述

1.概述1965年以后，是扫描电子显微镜的精细化发展阶段。1968年，场发射扫描电子显微镜研发成功，极大提高了扫描电子显微镜的分辨率。2005年，美国发布全球第一台具有超高分辨率的带有低真空的场发射电镜，其分辨率为1.0nm。2010年，冷场扫描电镜的上市将分辨率提升到了0.4nm。1932年，克诺尔首次提出了扫描电镜可放大成像的概念。1938年，阿登纳在透射电子显微镜上添加了扫描线圈，并获得了第一张扫描电镜图像。1965年，在英国诞生了第一台实用