太阳能电池板的生产工艺操作规范.docx

太阳能电池板的生产工艺操作规范

一、原材料检验与预处理

1.硅料接收

1.1每批多晶硅料随货附成分报告，质检员用便携式光谱仪抽检五袋，硼、磷、氧、碳含量分别≤0.3ppma、≤0.1ppma、≤8ppma、≤1ppma，超标整批退货。

1.2料袋拆封前在洁净过渡间负压吸尘30s，防止粉尘进入单晶炉。

2.硅料清洗

2.1用18MΩ·cm去离子水溢流浸泡10min，水温45℃，超声频率40kHz，功率密度0.8Wcm?2。

2.2转入1%HF+5%H?O?混合液漂洗3min，去除金属与有机沾污，再用去离子水溢流至pH≥6.5。

2.3洁净氮气吹干，露点?60