CN119422108A 抗蚀剂组合物和使用其的抗蚀剂膜形成方法 （三菱瓦斯化学株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119422108A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202380052382.X

(22)申请日2023.07.03

(30)优先权数据

2022-1132822022.07.14JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0245432023.07.03

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/014329JA2024.01.18

(71)申请人三菱瓦斯化学株式会社地址日本

(72)发明人冈