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硅基纳米半导体器件的可控合成方法研究

目录

文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2研究目的与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.3研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

硅基纳米半导体材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1硅基纳米半导体的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.2硅基纳米半导体的结构与性能特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.3硅基纳米半导体材料的研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

硅基纳米半导体器件的可控合成方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.2动力学激光沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.3离子束溅射法．．．．．．．．．．．．．．．．．