2025年中国半导体前驱体产业链、市场规模及竞争态势分析.pdfVIP

2025年中国半导体前驱体产业链、市场规模及竞争态势分

析

一、半导体前驱体行业概况

前驱体材料在集成电路制造领域占据重要位置，系集成电路技术发展的关键材

料之一。前驱体材料主要应用于集成电路晶圆制造前道工艺中的薄膜沉积工

艺，在气相沉积过程中形成符合集成电路制造要求的各类薄膜层。前驱体材料

根据形成薄膜材料属性划分，可以分为硅基前驱体与金属基前驱体；根据集成

电路晶圆制造工序功能划分，可以分为High-K前驱体和Low-K前驱体。

二、半导体前驱体行业产业链

半导体前驱体行业产业链上游为原材料制造商与设备提供商，其中原材料包括

氯硅烷、氢气等，同类型的前驱体原材料不同，制造工艺的差异也使得原材料

制造难度有所不同，相关设备包括反应釜、蒸发器、纯化设备等。产业链下游

包括半导体制造与显示面板制造等，其中半导体制造包括集成电路制造厂商、

分立器件制造厂商等，显示面板制造包括OLED等新型显示技术。

本文节选自华经产业研究院发布的《2025年中国半导体前驱体行业发展现状及

竞争态势：国产自主可控亟需实现「图」》，如需获取全文内容，可进入华经情

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三、半导体前驱体行业市场规模

近年来，我国半导体前驱体市场增长迅速，国内集成电路、光伏等电子信息产

业的快速发展，带动了半导体前驱体的需求持续增加。据统计，我国半导体前

驱体行业