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台阶仪校准规范实验报告

实验目的

台阶仪是用于台阶高度参量测量的精密几何量通用仪器，其通过接触式测针对被测物表面形貌进行2D线扫描或3D面扫描测量，得到被测表面轮廓结构特征，通过分析软件进而对表面台阶高度轮廓进行分析计算。该类型仪器按测量传感器不同分为电容式、电感式和光电式，测量时通过专用测针在被测物表面进行单向扫描，将扫描过程中测针在被测表面高低起伏的运动变化转化为电信号，经放大整流后解调出位移信号，通过分析软件按照ISO5436中规定的通用方法进行台阶高度或垂直阶差高度的分析计算。该仪器主要用于精密加工制造、半导体和集成电路制造、电镀等膜层制备、手机或显示器平板器件等精密制造领域各种测试