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山理工材料化学研究方法课件第12讲 电子显微分析之三.pptxVIP

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  • 2026-04-23 发布于江苏
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山理工材料化学研究方法课件第12讲 电子显微分析之三.pptx

    第三节电子探针X射线显微分析

    电子探针X射线显微分析仪（EPA或EPMA）

    利用一束聚焦到很细且被加速到5～30kev的电

    子束，轰击用显微镜选定的待分析样品上的某个“点”，利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X射线波长和强度的不同，来确定分析区域中的化学成分．（成分分析）

    优点：分析范围广（Be～U）

    操作简单，分析时间少

    无损分析

    谱图解析简单（谱线少）

    EPMA的构造与SEM大体相似，只是增加了接收记录X射线的谱仪。（波谱仪和能谱仪）

    一、能谱仪

    能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)．

    目前最常用的是Si(

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