CN119422226A 降低euv光刻胶图案的线边缘粗糙度的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119422226A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202380052463.X

(22)申请日2023.07.19

(30)优先权数据

17/872,3702022.07.25US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0280882023.07.19

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025773EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人