洁净室及相关受控环境系列丛书 洁净工程应用技术281-340.docx

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2洁净室的检测

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洁净室的检测

做法可参照本章参考资料[6]、[7]。

第五节洁净室的检测方法

有关洁净室检测方法的技术标准较多,因篇幅有限不可能全面介绍。本节主要介绍国际标准ISO14644的主要观点和主要做法。然而,ISO14644除规定一些概念之外,往往仅提供一些供检测者选择的建议,并没有规定检测者一定要做什么,必须如何做。至于具体洁净室的竣工验收检测,需要根据委托方与承包方签订的合同及洁净室的性质,参照有关国家标准进行。好在掌握了洁净室检测的基础知识和基本原则以后,对于任何标准都可以迎刃而解,运用自如。

《洁净室施工及验收规范》(GB50

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