2026年半导体原料制备工专项题库.docx

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半导体原料制备工专项题库

一、单选题(只有一个正确答案)

1.半导体原料制备过程中,用于提纯硅的常用方法是?

A.区熔法

B.沉淀法

C.电解法

D.蒸馏法

答案:A

解析:区熔法通过局部加热使杂质在熔区迁移,实现硅的提纯。

2.硅烷(SiH4)在半导体工艺中主要用于?

A.刻蚀

B.氧化

C.沉积多晶硅

D.掺杂

答案:C

解析:硅烷常用于化学气相沉积(CVD)制备多晶硅薄膜。

3.在半导体原料制备中,高纯度石英砂的主要成分是?

A.SiO2

B.SiC

C.Si3N4

D.Si

答案:A

解析:石英砂主要

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