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半导体原料制备工专项题库
一、单选题(只有一个正确答案)
1.半导体原料制备过程中,用于提纯硅的常用方法是?
A.区熔法
B.沉淀法
C.电解法
D.蒸馏法
答案:A
解析:区熔法通过局部加热使杂质在熔区迁移,实现硅的提纯。
2.硅烷(SiH4)在半导体工艺中主要用于?
A.刻蚀
B.氧化
C.沉积多晶硅
D.掺杂
答案:C
解析:硅烷常用于化学气相沉积(CVD)制备多晶硅薄膜。
3.在半导体原料制备中,高纯度石英砂的主要成分是?
A.SiO2
B.SiC
C.Si3N4
D.Si
答案:A
解析:石英砂主要
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