CN119958291A 一种保持ito平面靶密度均匀的承烧装置及其工作方法 (先导薄膜材料(安徽)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-23 发布于重庆
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CN119958291A 一种保持ito平面靶密度均匀的承烧装置及其工作方法 (先导薄膜材料(安徽)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119958291A

(43)申请公布日2025.05.09

(21)申请号202510202883.2

(22)申请日2025.02.24

(71)申请人先导薄膜材料(安徽)有限公司

地址230012安徽省合肥市新站区龙子湖

路658号

(72)发明人韩贤昆查乐林凤吾生

(74)专利代理机构合肥正则元起专利代理事务

所(普通合伙)34160

专利代理师杨曲玥

(51)Int.Cl.

F27D5/00(2006.01)

F27D7/02(2006.01)

F27D19/00(2006.01)

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