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- 2026-04-24 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119433684A
(43)申请公布日2025.02.14
(21)申请号202510047116.9
(22)申请日2025.01.13
(71)申请人苏州清研半导体科技有限公司
地址215000江苏省苏州市吴中区甪直镇
东方大道268号中科半导体产业社区A
幢802-803室、B幢1-2层申请人清华大学
(72)发明人杨倩倩刘源周杰苏奕霖况家仪梁刚强
(74)专利代理机构苏州创智高诺知识产权代理
有限公司32843
专利代理师叶栋
(51)Int.Cl.
C30B1
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