原创力文档信息与控制２０２４年第５３卷第６期：８０４～８１６
ＤＯＩ：１０．１３９７６／ｊ．ｃｎｋｉ．ｘｋ．２０２４．３４５７文章编号：１００２－０４１１（２０２４）－０６－０８０４－１３
晶圆驻留时间约束下双组合设备协同调度
１１１１１，２，３
潘春荣，周浩，熊文清，崔煜，罗继亮
１．江西理工大学机电工程学院，江西赣州３４１０００；
２．华侨大学信息科学与工程学院，福建厦门３６１０２１；
３．华侨大学福建省电机控制与系统优
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