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CN119439632A 运动台动态性能检测装置、检测方法及光刻设备 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-24 发布于山西
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CN119439632A 运动台动态性能检测装置、检测方法及光刻设备 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119439632A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202310955469.X

    (22)申请日2023.07.31

    (71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公司

    地址201203上海市浦东新区张东路1525

    号

    (72)发明人郑哲

    (74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限

    公司31295

    专利代理师钟晶

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    G01M11/00(2006.01)

    权利要求书2页说明书10页附图6页

    (54)发明名

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