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- 2026-04-25 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120072747A
(43)申请公布日2025.05.30
(21)申请号202510230139.3
(22)申请日2025.02.27
(71)申请人上海积塔半导体有限公司
地址201306上海市浦东新区中国（上海）
自由贸易试验区临港新片区云水路
600号
(72)发明人王浩李钊阳黎明黄永彬
(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务
所(普通合伙)31294
专利代理师孙佳胤
(51)Int.Cl.
H01L21/768(2006.01)
H01L23/48(2006.01)
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