CN120081332A 一种单片集成mems微差压芯片及制备方法 （华东光电集成器件研究所）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120081332A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510218119.4G01L13/00(2006.01)

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人华东光电集成器件研究所

地址233030安徽省蚌埠市龙子湖区汤和

路2016

(72)发明人宋吉递王鹏王文婧陈丙根

赵斌陈璞曹卫达疏义强

(74)专利代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事

务所(普通合伙)34113

专利代理师王博

(51)Int.Cl.

B81B7/02(2006.01)

B81B7/00(200