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CN119452463A 用于清洁半导体晶圆的清洁模块的盖子和用于在清洁线中清洁半导体晶圆的方法 （硅电子股份公司）.docxVIP

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  • 2026-04-28 发布于山西
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CN119452463A 用于清洁半导体晶圆的清洁模块的盖子和用于在清洁线中清洁半导体晶圆的方法 （硅电子股份公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119452463A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202380050361.4

    (22)申请日2023.06.14

    (30)优先权数据42022.06.27EP

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.27

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/EP2023/0658992023.06.14

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/002690DE2024.01.04

    (71)申请人硅电子股份公司地址德国慕尼黑

    (72)发明人B

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