多晶PECVD镀膜不良边缘白边分析报告.docx

研究报告

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多晶PECVD镀膜不良边缘白边分析报告

一、问题概述

1.问题描述

(1)在近期生产过程中，我们注意到多晶PECVD镀膜产品出现了边缘白边现象，这一现象在产品中出现的频率较高，大约占到了总产量的10%以上。具体表现为镀膜边缘出现宽度不一的白色区域，这些区域在光学显微镜下观察可见明显的厚度不均，且在触摸时感觉较为粗糙。通过对部分样品的测试，发现这些白边区域的厚度与正常镀膜区域相比降低了约20%，导致整体膜厚不符合产品标准要求。

(2)进一步分析发现，这些边缘白边现象主要出现在镀膜厚度较大的产品上，例如厚度在1000nm以上的样品。在相同条件下，厚