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- 2026-04-29 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120103108A
(43)申请公布日2025.06.06
(21)申请号202510245408.3
(22)申请日2025.03.03
(71)申请人海光信息技术股份有限公司
地址300000天津市滨海新区天津华苑产
业区海泰西路18号北2-204工业孵化-
3-8
(72)发明人陆洋
(74)专利代理机构北京市广友专利事务所有限
责任公司11237
专利代理师张仲波
(51)Int.Cl.
G01R31/28(2006.01)
H01L21/66(2006.01)
权利要求书3页说明
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