CN120103108A 一种临时载片、复合测试结构、测试方法和测试系统 (海光信息技术股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-29 发布于重庆
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CN120103108A 一种临时载片、复合测试结构、测试方法和测试系统 (海光信息技术股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120103108A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510245408.3

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人海光信息技术股份有限公司

地址300000天津市滨海新区天津华苑产

业区海泰西路18号北2-204工业孵化-

3-8

(72)发明人陆洋

(74)专利代理机构北京市广友专利事务所有限

责任公司11237

专利代理师张仲波

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书3页说明

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