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先进材料在微电子器件中的集成应用

目录

一、文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1微电子产业发展与材料驱动的变革．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2先进材料体系概述及其特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3先进材料与微电子器件融合的趋势与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、先进半导体功能材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1高迁移率晶体管材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2高频与功率电子材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.3存储器特定材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.4新型结构材料（二维材料等）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

三、先进封装材料与集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1功率器件封装材料体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.2高速信号传输材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．