CN120010176A Opc修正方法、半导体设备及半导体产品 (粤芯半导体技术股份有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.43万字
  • 约 13页
  • 2026-04-30 发布于重庆
  • 举报

CN120010176A Opc修正方法、半导体设备及半导体产品 (粤芯半导体技术股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120010176A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510244341.1

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人粤芯半导体技术股份有限公司

地址510000广东省广州市黄埔区凤凰五

路28号

(72)发明人曾辉刘志成李贵琦石方毅

李月周卓弘姜晓晴张淼华

(74)专利代理机构北京泽方誉航专利代理事务

所(普通合伙)11884

专利代理师陈照辉

(51)Int.Cl.

G03F1/36(2012.01)

G03F7/20(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档