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- 2026-04-30 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120010176A
(43)申请公布日2025.05.16
(21)申请号202510244341.1
(22)申请日2025.03.03
(71)申请人粤芯半导体技术股份有限公司
地址510000广东省广州市黄埔区凤凰五
路28号
(72)发明人曾辉刘志成李贵琦石方毅
李月周卓弘姜晓晴张淼华
(74)专利代理机构北京泽方誉航专利代理事务
所(普通合伙)11884
专利代理师陈照辉
(51)Int.Cl.
G03F1/36(2012.01)
G03F7/20(2006.01)
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