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什么是静电敏感器件

易被静电损坏的电子器件称为静电敏感器件（StaticSensitiveDevice简称SSD）。由于科技时代的需要，

小体积、多功能、快速度的集成电路已是目前电子工业的基本要求。增厚氧化膜，提高其耐压性，显然是

行不通的，因此在器件的集成度越来越高的趋势下，通常将器件氧化膜的膜厚做得越来越薄使其尺寸减少，

器件的耐压也随之降低。半导体器件，特别是IC，根据其种类不同受静电破坏的程度也不一样，弱至100V

的静电也会造成破坏，具体数据见表l。

表l各种半导体器受静电破坏的水平

元件的种类遭受破坏的电压范围(V)我厂所用元器件典型范例

VMOS器件30~1800IRF640、SPP11N60S5、BSN304

MOS场效应器件100~200TDA4605、TDA16846

坤化镓场效应器件100~300

EPROM