原创力文档《MEMS压力敏感芯片分选工艺技术要求》编制说明
（征求意见稿）
一、工作简况
1、任务来源
本项目是根据中国机械工业标准化技术协会团体标准制修订计划（中机标字[2025]05
号），计划编号：CAMS2025003，项目名称“MEMS压力敏感芯片分选工艺技术要求”进行制
定。标准起草牵头单位为沈阳仪表科学研究院有限公司，计划完成时间为2025年12月。
本项目为团体标准制定项目。
2、制定背景
硅压阻式MEMS压力传感器作为现代工业的核心感知元件，其发展水平直接关系
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