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- 2026-04-30 发布于河南
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ICS31.200
CCSL95
CMEEEA
团体标准
T/CMEEEAXXXX—2026
半导体等离子刻蚀机多维度耦合磁场系统
性能测试规范
Performancetestspecificationformulti-dimensionalcoupledmagneticfieldsystem
ofsemiconductorplasmaetchingsystem
（征求意见稿）
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国机电设备工程协会 发布
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