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半导体器件物理特性测试与分析指导手册

1.第1章测试设备与仪器介绍

1.1测试设备概述

1.2常用测试仪器分类

1.3测试仪器操作规范

1.4测试数据采集与处理

2.第2章半导体器件基本特性测试

2.1电阻特性测试

2.2电容特性测试

2.3电压-电流特性测试

2.4电导特性测试

3.第3章半导体器件电学性能分析

3.1电阻率测试方法

3.2电导率测试方法

3.3电容-电压特性分析

3.4电导-电压特性分析

4.第4章半导体器件热特性测试

4.1热阻测试方法

4.2热分布测试方法

4.3热应力测试方法

4.4热膨胀测试方法

5.第5章半导体器件结构与工艺分析

5.1结构分析方法

5.2工艺参数测试

5.3工艺缺陷检测

5.4工艺性能评估

6.第6章半导体器件寿命与可靠性测试

6.1寿命测试方法

6.2可靠性测试方法

6.3耐久性测试方法

6.4耐温耐压测试方法

7.第7章半导体器件性能参数分析

7.1性能参数定义

7.2参数