表面化学分析X射线光电子能谱 石英晶体单色化Al Kα激发源 XPS仪器的强度校准方法.pdfVIP

表面化学分析X射线光电子能谱石英晶体单色化AlKα激发源

XPS仪器的强度校准方法

1范围

本文件描述了采用低密度聚乙烯校准配置同心半球形分析器的X射线光电子能谱仪强度标的一种方

法。

本文件适用于使用石英晶体单色化AlKα激发源的能谱仪，所有几何形状设计均适用。强度校准仅

对校准过程中所采用的仪器的特定设置（通能或减速比、透镜模式、狭缝和光阑设置）有效。强度校准

适用于动能高于180eV的情况。强度校准适用于不带用于原位清洁金属试样（即Au、Ag、Cu）的离子枪

的谱仪，也适用于在标准仪器参数下测量上述金属试样时探测器发生饱和的谱仪。

本文件不适用于没有荷电补偿系统的XPS仪器，也不适用于非线性强度响应的仪器。本文件不适用

于能产生显著强度的散射电子的仪器及相应的操作模式（即散射强度对总光谱强度的贡献大于1%）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO18115-1表面化学分析—词汇—第1部分：通用术语及谱学术语

注：GB/T22461.1—2023表面化