CN119725328A 一种半导体量测结构及半导体研磨量的量测方法 （青岛海存微电子有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119725328A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510237494.3

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人青岛海存微电子有限公司

地址266404山东省青岛市黄岛区映山红

路117号1栋1605室（原黄岛区科教二

路117号1栋研发中心办公室）

(72)发明人任冠青袁东林李南军王林霞

张超刘宏喜王戈飞

(51)Int.Cl.

H01L23/544(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

权利要求书2页