CN119716173A 一种用于芯片的全自动探针测试设备及其方法 （南京银茂微电子制造有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119716173A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510229199.3

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人南京银茂微电子制造有限公司

地址211200江苏省南京市溧水区秀山路9

号

(72)发明人庄伟东

(51)Int.Cl.

G01R1/067(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

G01R31/28(2006.01)

G01R1/04(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图11页

(54)发明名称

一种用于芯片的全自动探针测试设备及其