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高密度三维电路集成技术的优化设计

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.4技术路线与研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

高密度三维电路集成技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.1高密度三维电路集成概念与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.2三维集成电路构建关键工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.3高密度三维电路集成优势与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

高密度三维电路集成优化设计方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.1设计流程与框架．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.2嵌入式无源器件优化布局．．．．．．．．．．．．