微机电系统（MEMS）技术 车规级 MEMS 半导体气体传感器技术规范.pdfVIP

微机电系统（MEMS）技术车规级MEMS半导体气体传感器技术规范

1范围

本文件规定了车规级MEMS半导体气体传感器的术语和定义、分类、基本参数、性能要求、试验方法。

本文件适用于采用MEMS工艺制作的车规级MEMS半导体气体传感器的设计、生产和检验，包括车内/

外空气质量传感器、车载人体呼出气体传感器、汽车尾气传感器、新能源车动力安全气体传感器（如车

用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器）等。MEMS热导气体传感器、MEMS催化燃烧气

体传感器及其他种类MEMS气体传感器也可参考使用。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验A：低温

GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验B：高温

GB/T2423.3电工电子产品环境试验第2部分试验方法试验Cab：恒定湿热试验方法

GB/T2423.5电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击

GB/T2423.10电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc:振动(正弦)