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电子束掩模写入器可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

高端电子束掩模写入器研发及产业化项目

建设单位

芯刻智能装备有限公司于2025年7月15日在江苏省无锡市新吴区市场监督管理局注册成立，属于有限责任公司，注册资本金3亿元人民币。主要经营范围包括：半导体设备研发、生产、销售及技术服务；电子元器件、精密机械部件的研发与销售；货物及技术进出口业务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

新建

建设地点

项目选址于江苏省无锡市新吴区无锡国家高新技术产业开发区内，具体地址为新吴区长江南路20号。该区域是国内半导体产业核心集聚区之一，集聚了华润微、华虹半导体等一