SiC功率器件离子注入工艺研发及设备采购项目可行性研究报告.docx

SiC功率器件离子注入工艺研发及设备采购项目可行性研究报告

第一章总论

项目概要

项目名称

SiC功率器件离子注入工艺研发及设备采购项目

建设单位

中芯微能半导体科技（无锡）有限公司于2023年6月在江苏省无锡市新吴区市场监督管理局注册成立，为有限责任公司，注册资本金5000万元人民币。核心经营范围包括半导体器件研发、生产及销售；集成电路制造；电子专用设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询等（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。

建设性质

新建

建设地点

江苏省无锡高新技术产业开发区半导体产业园内，该园区位于无锡市新吴区，地处长三角集成电路产业核心带，周边配套完善，交通