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CN119495541A 等离子体反应装置、半导体零部件及其处理方法 （中微半导体设备(上海)股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119495541A 等离子体反应装置、半导体零部件及其处理方法 （中微半导体设备(上海)股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119495541A

    (43)申请公布日2025.02.21

    (21)申请号202311023397.1

    (22)申请日2023.08.14

    (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公司

    地址201201上海市浦东新区金桥出口加

    工区（南区）泰华路188号

    (72)发明人孙祥王枫丛海

    (74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限

    公司31323

    专利代理师徐雯琼张静洁

    (51)Int.Cl.

    H01J37/32(2006.01)

    权利要求书2页说明书5页附图4页

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